HAF 系列-低流量
霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为指定的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。
Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。
这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。
产品特点
● 补偿式
● ±50 SCCM 至 ±750 SCCM - 模拟或数字输出
● 10 SLPM 至 300 SLPM - 数字输出
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描述
技术参数
| 性能参数 | |
| 信号调节 | 放大，补偿 |
| 技术 | 带隔热加热器的硅芯片 |
| 流量/压力范围 |
±50 SCCM to ±750 SCCM |
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输出 |
模拟（Vdc）、数字（I2C） |
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耗电量 |
•3.3 Vdc:40 mW典型值（空载）（模拟） 23 mW典型值（空载）（数字） •5.0 Vdc:55 mW典型值（空载）（模拟） 38 mW典型值（空载）（数字） |
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接口方式 |
长端口，短端口 |
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媒体兼容性 |
干燥无腐蚀性气体 |
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工作温度范围 |
-20°C至70°C[-4°F至158°F] |
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补偿温度范围 |
0°C至50°C[32°F至122°F] |
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尺寸（高x宽x高） |
长端口: 20 mm x 36 mm x 19,9 mm [0.79 in x 1.42 in x 0.78 in] 短端口: 17,6 mm x 28,8 mm x 19,9 mm [0.69 in x 1.13 in x 0.78 in] |
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特征 |
高精度，极低流量下的高灵敏度，高稳定性， 低压，线性输出；可定制、全面校准和温度补偿 |
