AWM1000 系列
AWM1000 系列气体质量流量传感器利用微桥气体质量流量传感器技术，具有标准 AWM2000 系列的所有优良性能，而且更加经济实惠。此装置提供准确、可重复的气流传感。传感器与传感器的可互换性规格约是 AWM2000 系列的两倍。
根据操作规范的要求，同时具备加热器控制电路和传感桥供电电路。这两种电路不在传感器电路板上，因此必须在应用中提供。差分放大电路可能有助于提供输出增益和/或将电压偏置导入传感器输出。
产品特点
● 非补偿式
● ±200 SCCM、1000 SCCM 至 -600 SCCM：±5.0 mbar、±10.0 mbar
● 模拟输出
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描述
技术参数
| 性能参数 | |
| 信号调节 | 非放大，带补偿 |
| 技术 | 硅芯片 |
| 流量/压力范围 |
±200 SCCM, 1000 SCCM to -600 SCCM, |
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输出 |
模拟 |
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耗电量 |
30 mW典型值 |
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接口方式 |
直筒型 |
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媒体兼容性 |
仅干燥气体 |
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工作温度范围 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
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补偿温度范围 |
- |
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尺寸（高x宽x高） |
12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm |
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特征 |
对低流量敏感，响应增强 时间，低功耗，模拟输出，双向感应能力 |
