AWM2000 系列
AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范,还需具备发热器控制电路。根据操作规范,还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上,因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。
产品特点
● 补偿式
● ±30 SCCM、±1000 SCCM:±10.0 mbar
● 模拟输出
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技术参数
性能参数 | |
信号调节 | 非放大,带补偿 |
技术 | 硅芯片 |
流量/压力范围 |
±30 SCCM, ±200 SCCM, ±1000 SCCM, |
输出 |
模拟 |
耗电量 |
30 mW典型值 |
接口方式 |
直筒型 |
媒体兼容性 |
仅干燥气体 |
工作温度范围 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
补偿温度范围 |
- |
尺寸(高x宽x高) |
12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm |
特征 |
对低流量敏感,响应增强时间, 低功耗,模拟输出,双向感应能力 |