AWM2000 系列

AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范,还需具备发热器控制电路。根据操作规范,还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上,因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。

 

产品特点

● 补偿式

● ±30 SCCM、±1000 SCCM:±10.0 mbar

● 模拟输出

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技术参数

性能参数
信号调节 非放大,带补偿
技术 硅芯片
流量/压力范围

±30 SCCM, ±200 SCCM, ±1000 SCCM, 
±5,0 mbar [2.0 inH20]

输出

模拟

耗电量

30 mW典型值

接口方式

直筒型

媒体兼容性

仅干燥气体

工作温度范围

-25°C to 85°C [-13°F to 185°F]

补偿温度范围

-

尺寸(高x宽x高)

12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm 
[0.5 in x 2.14 in x 1.24 in]

特征

对低流量敏感,响应增强时间,

低功耗,模拟输出,双向感应能力