AWM3000 系列
AWM3000 系列微桥气体质量流量传感器同 AWM2000 系列一样，惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和将电压偏移引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上
产品特点
● 补偿式
● 30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM：0 mbar 至 1.25 mbar，0 mbar 至 5.0 mbar
● 模拟输出
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描述
技术参数
| 性能参数 | |
| 信号调节 | 放大 |
| 技术 | 硅芯片 |
| 流量/压力范围 |
30 SCCM, 200 SCCM, 1000 SCCM, ±1000 SCCM, |
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输出 |
模拟 |
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耗电量 |
50 mW典型值 |
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接口方式 |
直筒型 |
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媒体兼容性 |
仅干燥气体 |
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工作温度范围 |
-25°C to 85°C [-13°F to 185°F] |
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补偿温度范围 |
- |
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尺寸（高x宽x高） |
12,7 mm x 54,4 mm x 31,5 mm |
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特征 |
对低流量的敏感性、快速响应时间、低功耗， 模拟输出，放大的双向流动 |
