AWM40000 系列

AWM40000 系列微桥气体质量流量传感器的工作原理是热传递。气体质量流量经引导流过传感元件的表面。输出电压与流过封装进出口的空气或其他气体质量成正比。特殊设计的外壳精确地引导和控制气流流过微结构传感元件。封装的机械设计能够轻松将其安装在印刷电路板上。

微桥气体质量流量传感器内含一块独特的基于先进微结构技术的硅芯片。该芯片采用薄膜和绝热桥结构,内含加热器和温度传感元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件两侧的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜电阻保证了从每个传感器之间始终具有一致的可互换性。

产品特点

● 补偿式或非补偿式

● ±25.0 SCCM、1.0 SLPM、6.0 SLPM

● 模拟输出

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技术参数

性能参数
信号调节 未放大的(补偿的)或放大的
技术 硅芯片
流量/压力范围

±25.0 SCCM, 1.0 SLPM, 6.0 SLPM

输出

模拟

耗电量

60 mW max. or 75 mW max

接口方式

歧管

媒体兼容性

仅干燥气体

工作温度范围

-40°C to 125°C [-40°F to 251°F]

补偿温度范围

-25°C to 85°C [-13°F to 185°F]

尺寸(高x宽x高)

12,7 mm x 30,5 mm x 30,2 mm
[0.50 in x 1.2 in x 1.19 in]

特征

对低流量的敏感性,增强的响应时间,

低功耗,模拟输出,激光微调