AWM90000 系列

AWM90000 系列气体质量流量传感器采用久经时间验证的热桥技术。AWM90000 系列不仅能够提供 AWM1000 系列的许多优良性能,而且传感器采用的平台更加经济实惠。有质量流量和差压两种版本可供选择。

AWM92100V 的流量范围为 ±200 sccm,而 AWM92200V 为 ±2.0 英寸 H2O 的压差型号。

这些传感器具有 1 ms 的快速响应时间,其电源电压为 8.0 Vdc 至 15.0 Vdc,而功耗仅为 50 mV。

AWM90000 系列让客户能够自定义传感器功能,满足客户各种应用需求。

产品特点

● 补偿式或非补偿式

● ±200 SCCM、±5.0 mbar

● 模拟输出

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技术参数

性能参数
信号调节 非放大
技术 硅芯片
流量/压力范围

±200 SCCM, ±5,0 mbar [2.0 inH20]

输出

模拟

耗电量

50 mW max

接口方式

平行

媒体兼容性

仅干燥气体

工作温度范围

-25°C to 85°C [-13°F to 185°F]

补偿温度范围

-25°C to 85°C [-13°F to 185°F]

尺寸(高x宽x高)

13,08 mm x 30,48 mm x 27,94 mm
[0.52 in x 1.2 in x 1.1 in]

特征

对低流量的敏感性、快速响应时间、低功耗、

模拟输出,双向感应能力