HAF 系列-高流量
霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为指定的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。
Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。
这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成,薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内,提供对于流量的可重复响应。
产品特点
● 补偿式
● 10 SLPM 至 300 SLPM
● 数字输出
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技术参数
性能参数 | |
信号调节 | 放大,补偿 |
技术 | 带隔热加热器的硅芯片 |
流量/压力范围 |
10 SLPM, 15 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, |
输出 |
数字(I2C) |
耗电量 |
•3 Vdc:60 mW最大值 •10 Vdc:200 mW最大值 |
接口方式 |
歧管安装,外径22 mm锥形外螺纹接头,G 3/8内螺纹接头 |
媒体兼容性 |
干燥无腐蚀性气体 |
工作温度范围 |
-20°C to 70°C [-4°F to 158°F] |
补偿温度范围 |
0°C to 50°C [32°F to 122°F] |
尺寸(高x宽x高) |
110 mm x 54,4 mm x 54 mm [4.3 in x 2.14 in x 2.1 in] (外径22 mm锥形外螺纹管件-最大) |
特征 |
内置旁路提供高性能,易于集成,和自定义校准 |